उत्पत्ति के प्लेस:
चीन
ब्रांड नाम:
RPS-SONIC
प्रमाणन:
CE
मॉडल संख्या:
आरपीएस-डब्ल्यूएच-120
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120k अल्ट्रासोनिक फोटोरेसिस्ट स्प्रे कोटिंग मशीन बाहरी तरल आपूर्ति के साथ
फोटोरेसिस्ट एटमाइजेशन स्प्रेइंग सेमीकंडक्टर निर्माण में सटीक फोटोरेसिस्ट कोटिंग के लिए एक मुख्य प्रक्रिया है। मुख्य सिद्धांत एटमाइजेशन तकनीक के माध्यम से फोटोरेसिस्ट को छोटी बूंदों में बदलना है, जिन्हें फिर वेफर की सतह पर समान रूप से जमा किया जाता है, जो उच्च-सटीकता, बड़े आकार के वेफर्स की कोटिंग आवश्यकताओं को पूरा करता है।
मुख्य सिद्धांत: तरल फोटोरेसिस्ट को उच्च-दबाव गैस प्रवाह या अल्ट्रासोनिक कंपन का उपयोग करके नैनोमीटर से माइक्रोमीटर पैमाने पर समान बूंदों में एटमाइज किया जाता है।
एटमाइज्ड बूंदों को फिर एक दिशात्मक गैस प्रवाह द्वारा ले जाया जाता है, जो वेफर की सतह पर एक पतली और समान कोटिंग बनाता है, जिसमें मोटाई को नैनोमीटर स्तर पर सटीक रूप से नियंत्रित किया जाता है।
मुख्य लाभ: उच्च कोटिंग एकरूपता, स्पिन कोटिंग के किनारे-मोटे और केंद्र-पतले दोषों से बचाती है, उन्नत प्रक्रियाओं की आवश्यकताओं को पूरा करती है।
उच्च फोटोरेसिस्ट उपयोग, स्पिन कोटिंग की तुलना में 50% से अधिक सामग्री अपशिष्ट को कम करता है, उत्पादन लागत को कम करता है।
बड़े आकार के वेफर्स (जैसे, 12 इंच और उससे ऊपर) और जटिल सतह स्थलाकृति के लिए उपयुक्त, जिसके परिणामस्वरूप मजबूत कोटिंग स्थिरता होती है।
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स्प्रे नोजल का पैरामीटर क्या है?
| आइटम | वाइड टाइप | डिफ्यूज़ टाइप | बंचिंग टाइप | लॉन्ग नोजल | बाहरी द्रव आपूर्ति |
| एटमाइज्ड कण का व्यास | 15-40 | 15-41 | 15-42 | 15-20 | 15-20 |
| स्प्रे चौड़ाई (माइक्रोन) | 40-120 | 40-80 | 2-20 | 1-3 | 0.5-2 |
| स्प्रे ऊंचाई (माइक्रोन) | 50-150 | 30-80 | 10-30 | 10-20 | 10-20 |
| प्रवाह (मिली/मिनट) | 0.5-20 | 0.5-20 | 0.5-10 | 0.5-10 | 0.01-1 |
| उपयुक्त चिपचिपाहट (सीपीस) | 30 से कम | 30 से कम | 30 से कम | 15 से कम | 15 से कम |
| तरल में कण आकार (माइक्रोन) | 20 से कम | 15 से कम | 10 से कम | 8 से कम | 8 से कम |
| डाइवर्जन दबाव (एमपीए) | 0.05 से कम | 0.05 से कम | 0.05 से कम | / | / |
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अल्ट्रासोनिक नैनो-एटमाइजेशन तरल पदार्थों को नैनो-आकार के कणों में बदलने के लिए अल्ट्रासोनिक ऊर्जा का उपयोग करता है। इसके चिकित्सा और औद्योगिक क्षेत्रों में व्यापक अनुप्रयोग हैं। निम्नलिखित एक विस्तृत विवरण है:
सिद्धांत
चिकित्सा क्षेत्र में: एक अल्ट्रासोनिक जनरेटर आमतौर पर उच्च-आवृत्ति वाला करंट उत्पन्न करता है, जिसे अल्ट्रासोनिक ट्रांसड्यूसर द्वारा अल्ट्रासोनिक तरंगों में परिवर्तित किया जाता है। यह करंट फिर एटमाइज़र के नीचे एक अल्ट्रासोनिक झिल्ली के माध्यम से तरल पर कार्य करता है, दवा को महीन कणों में तोड़ता है। अंत में, वायु आपूर्ति उपकरण द्वारा उत्पन्न वायु प्रवाह दवा की धुंध को रोगी तक पहुंचाता है ताकि वह उसे सांस ले सके।
औद्योगिक क्षेत्र में: एक अल्ट्रासोनिक नोजल उच्च-आवृत्ति वाली ध्वनि तरंगों को यांत्रिक ऊर्जा में परिवर्तित करता है, जिसे तरल में स्थानांतरित किया जाता है, जिससे स्थिर तरंगें उत्पन्न होती हैं। फिर तरल को नोजल के माध्यम से एटमाइजिंग सतह पर निर्देशित किया जाता है। एटमाइजिंग सतह से बाहर निकलने पर, तरल को माइक्रोन-आकार की बूंदों की एक समान धुंध में तोड़ा जाता है, जिससे एटमाइजेशन प्राप्त होता है।
विशेषताएं
महीन और समान कण: उत्पन्न एटमाइज्ड कणों का व्यास आमतौर पर 1 से 5 माइक्रोन तक होता है, हवा में लंबे समय तक निलंबित रहते हैं, और अपेक्षाकृत समान रूप से वितरित होते हैं। चिकित्सा क्षेत्र में, यह निचले श्वसन पथ और फेफड़ों तक बेहतर वितरण सुनिश्चित करने में मदद करता है। औद्योगिक क्षेत्र में, यह अत्यधिक समान सबमाइक्रोन और नैनो-स्केल पतली फिल्म कोटिंग प्राप्त कर सकता है। उच्च दक्षता और ऊर्जा बचत: तरल को गुरुत्वाकर्षण या कम दबाव वाले पंप द्वारा स्प्रे नोजल में स्थानांतरित किया जाता है, जिससे निरंतर या रुक-रुक कर एटमाइजेशन प्राप्त होता है। यह प्रक्रिया क्लॉग-फ्री, वियर-फ्री, नॉइज़लेस, प्रेशर-फ्री है, और इसमें कोई चलने वाले हिस्से नहीं हैं। एटमाइजेशन के लिए कूलिंग पानी की आवश्यकता नहीं होती है, जिसके परिणामस्वरूप कम ऊर्जा खपत होती है।
सामग्री और पर्यावरण के अनुकूल: अनप्रेशराइज्ड, कम-गति वाली स्प्रे को नियंत्रित करना आसान है, और बूंदें सब्सट्रेट से टकराने के बजाय उस पर गिरती हैं, जिससे ओवरस्प्रे काफी कम हो जाता है, महत्वपूर्ण सामग्री की बचत होती है और पर्यावरणीय उत्सर्जन कम होता है।
उच्च नियंत्रणीयता: सटीक रूप से नियंत्रणीय एटमाइजेशन प्रवाह, कम-प्रवाह निरंतर स्प्रे, और आसानी से नियंत्रित और आकार वाले स्प्रे पैटर्न इसे औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाते हैं। संयोजन के माध्यम से, एटमाइजेशन वॉल्यूम को किसी भी उपयोगकर्ता की आवश्यकता को पूरा करने के लिए तैयार किया जा सकता है। अनुप्रयोग
चिकित्सा: उदाहरण के लिए, नेत्र संबंधी अल्ट्रासोनिक एटमाइजेशन उपकरण सूखी आंख और ब्लेफेराइटिस के इलाज के लिए दवाओं को नैनो-आकार के एटमाइज्ड कणों में तोड़ने के लिए इस तकनीक का उपयोग करते हैं। यह तकनीक अवशोषण को बढ़ावा देती है, सूखी आंख के लक्षणों को कम करती है, और पेरिओकुलर माइक्रोकिरकुलेशन में सुधार करती है। श्वसन चिकित्सा में, नैनोbubble-assisted अल्ट्रासोनिक एटमाइजेशन तकनीक दवाओं और नैनोbubbles को सीधे महीन एरोसोल में एटमाइज कर सकती है, फेफड़ों में जमाव बढ़ा सकती है और फेफड़ों के सिस्ट जैसी स्थितियों के इलाज के लिए उपयोग की जाती है।
औद्योगिक: अनुप्रयोगों में ईंधन सेल, पतली-फिल्म फोटोवोल्टिक सेल, पतली-फिल्म सौर कोटिंग्स, पेरोव्स्काइट सौर सेल, ग्राफीन कोटिंग्स, ग्लास कोटिंग्स और इलेक्ट्रॉनिक सर्किट शामिल हैं, जो अत्यधिक समान सबमाइक्रोन और नैनोमीटर-स्केल पतली-फिल्म कोटिंग्स को सक्षम करते हैं।
लैंडस्केपिंग: लैंडस्केप गार्डन और वाणिज्यिक स्थानों में, अल्ट्रासोनिक एटमाइजेशन मॉड्यूल एक धुंध प्रभाव पैदा कर सकते हैं, हवा की आर्द्रता बढ़ा सकते हैं और इनडोर माइक्रोक्लाइमेट में सुधार कर सकते हैं। वे एक शानदार, रंग-परिवर्तनशील धुंध तमाशे बनाने के लिए प्रकाश प्रभावों के साथ भी संयुक्त हो सकते हैं।
दक्षता के मामले में अल्ट्रासोनिक स्प्रे नोजल पारंपरिक स्प्रे नोजल की तुलना कैसे करते हैं?
अल्ट्रासोनिक स्प्रे नोजल समग्र दक्षता में पारंपरिक स्प्रे नोजल से बेहतर प्रदर्शन करते हैं, खासकर फोटोरेसिस्ट अनुप्रयोग जैसे उच्च-सटीकता कोटिंग परिदृश्यों के लिए।
अल्ट्रासोनिक स्प्रे नोजल के मुख्य दक्षता लाभ
उच्च सामग्री उपयोग: वे फोटोरेसिस्ट को समान आकार के माइक्रो/नैनोड्रॉपलेट्स में एटमाइज करते हैं, पारंपरिक नोजल (जैसे, दबाव-संचालित प्रकार) की तुलना में 30-60% अपशिष्ट को कम करते हैं जो अक्सर असमान बूंदें या ओवरस्प्रे उत्पन्न करते हैं।
बेहतर कोटिंग एकरूपता: अल्ट्रासोनिक कंपन लगातार बूंदों के वितरण को सक्षम बनाता है, मोटाई भिन्नता को कम करता है (आमतौर पर पारंपरिक नोजल के लिए ±10-15% बनाम ±5% के भीतर), जो रीवर्क को कम करता है और प्रक्रिया उपज में सुधार करता है।
कम ऊर्जा खपत: अल्ट्रासोनिक एटमाइजेशन उच्च दबाव या वायु प्रवाह के बजाय उच्च-आवृत्ति कंपन पर निर्भर करता है, स्प्रे प्रदर्शन बनाए रखते हुए ऊर्जा उपयोग को 20-40% तक कम करता है।
पारंपरिक नोजल की तुलना में सीमाएं
उच्च-चिपचिपाहट सामग्री के लिए संकीर्ण प्रयोज्यता: पारंपरिक दबाव नोजल गाढ़े तरल पदार्थों को अधिक प्रभावी ढंग से संभालते हैं, जबकि अल्ट्रासोनिक प्रकार कम-से-मध्यम चिपचिपाहट वाले फोटोरेसिस्ट के साथ सबसे अच्छा काम करते हैं।
उच्च प्रारंभिक लागत: अल्ट्रासोनिक नोजल में उच्च अग्रिम निवेश होता है, हालांकि बड़े पैमाने पर उत्पादन में दीर्घकालिक सामग्री और ऊर्जा बचत से इसकी भरपाई हो जाती है।
अल्ट्रासोनिक स्प्रे नोजल दक्षता के मामले में पारंपरिक स्प्रे नोजल की तुलना में कई फायदे प्रदान करते हैं। यहां कुछ प्रमुख तुलना बिंदु दिए गए हैं:
एटमाइजेशन दक्षता: अल्ट्रासोनिक स्प्रे नोजल तरल पदार्थों को महीन बूंदों में एटमाइज करने में अत्यधिक कुशल होते हैं।
कम ओवरस्प्रे: पारंपरिक स्प्रे नोजल अक्सर महत्वपूर्ण मात्रा में ओवरस्प्रे उत्पन्न करते हैं, जो उस तरल के नुकसान को संदर्भित करता है जो इच्छित लक्ष्य तक नहीं पहुंचता है।
कोटिंग गुणवत्ता: अल्ट्रासोनिक स्प्रे नोजल विशेष रूप से उन अनुप्रयोगों में फायदेमंद होते हैं जहां उच्च-गुणवत्ता वाली कोटिंग की आवश्यकता होती है।
सामग्री बचत: उनके कुशल एटमाइजेशन और कम ओवरस्प्रे के कारण, अल्ट्रासोनिक स्प्रे नोजल सामग्री लागत पर बचत करने में मदद कर सकते हैं।
बहुमुखी प्रतिभा: अल्ट्रासोनिक स्प्रे नोजल पानी-आधारित समाधान, सॉल्वैंट्स, सस्पेंशन और चिपचिपे तरल पदार्थों सहित तरल पदार्थों की एक विस्तृत श्रृंखला को संभाल सकते हैं।
यह ध्यान देने योग्य है कि पारंपरिक स्प्रे नोजल के कुछ परिदृश्यों में अपने फायदे हैं, जैसे कि उच्च-प्रवाह अनुप्रयोग या ऐसी स्थितियां जहां बड़ी बूंदों की वांछित होती है। अल्ट्रासोनिक स्प्रे नोजल और पारंपरिक स्प्रे नोजल के बीच चुनाव दक्षता, कोटिंग गुणवत्ता और सामग्री बचत के मामले में आवेदन की विशिष्ट आवश्यकताओं और वांछित परिणाम पर निर्भर करता है।
क्या आप उन उद्योगों या अनुप्रयोगों के उदाहरण प्रदान कर सकते हैं जहां अल्ट्रासोनिक स्प्रे नोजल का आमतौर पर उपयोग किया जाता है?
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अल्ट्रासोनिक स्प्रेइंग सिस्टम
अल्ट्रासोनिक स्प्रेइंग उपकरण में सेल्फ-क्लीनिंग होती है, जो छिड़काव प्रक्रिया के दौरान रक्त संग्रह ट्यूब की आंतरिक दीवार के प्रदूषण से बच सकती है, और अपने स्वयं के नोजल के प्रदूषण से भी बच सकती है, और इसे छिड़काव और चक्रों में उपयोग किया जा सकता है। अल्ट्रासोनिक स्प्रेइंग सिस्टम छिड़काव की संख्या, दूरी, मोटाई और अन्य मापदंडों को प्रोग्राम कर सकता है, ताकि छिड़काव प्रभाव की सटीकता सुनिश्चित हो सके। अल्ट्रासोनिक स्प्रेइंग उपकरण कच्चे माल को बचा सकता है, और कच्चे माल की उपयोग दर 85% तक होती है। औद्योगिक अल्ट्रासोनिक एटमाइज़र को लगातार गुणवत्ता आउटपुट के साथ कुशल छिड़काव के लिए मौजूदा उत्पादन लाइनों में आसानी से रेट्रोफिट किया जा सकता है।
एक औद्योगिक रूप से सिद्ध तकनीक के रूप में, अल्ट्रासोनिक स्प्रेइंग को सफलतापूर्वक सेमीकंडक्टर, सटीक उपकरण, नैनो टेक्नोलॉजी अनुप्रयोगों, ईंधन सेल और सौर सेल जैसे सटीक इलेक्ट्रॉनिक्स के निर्माण में उच्च-प्रदर्शन पतली फिल्म कोटिंग लाइनों पर लागू किया गया है। अल्ट्रासोनिक स्प्रेइंग के दौरान, बूंदों के आकार और वितरण को सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है, जिसके परिणामस्वरूप उच्च सतह क्षेत्र वाले कण होते हैं।
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