अल्ट्रासोनिक सेमीकंडक्टर स्प्रे कोटिंग मशीन

अल्ट्रासोनिक सेमीकंडक्टर स्प्रे कोटिंग मशीन

अल्ट्रासोनिक सेमीकंडक्टर एटोमाइजेशन स्प्रेइंग एक सटीक पतली-फिल्म जमाव तकनीक है जो सेमीकंडक्टर सामग्री (जैसे फोटोरेसिस्ट और प्रवाहकीय सामग्री) को महीन, समान बूंदों में एटोमाइज करने के लिए उच्च-आवृत्ति अल्ट्रासोनिक ऊर्जा का उपयोग करती है। इन बूंदों को फिर एक वाहक गैस का उपयोग करके सब्सट्रेट सतह पर सटीक रूप से छिड़का जाता है, जिसके परिणामस्वरूप उच्च गुणवत्ता वाले, समान पतली-फिल्म कोटिंग्स मिलते हैं। यह तकनीक उच्च दक्षता, उच्च परिशुद्धता, कम सामग्री हानि और पतले, समान कोटिंग्स जैसे लाभ प्रदान करती है। इसका व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर निर्माण, नई ऊर्जा और ग्लास कोटिंग्स में उपयोग किया जाता है, जो पारंपरिक स्प्रे विधियों की जगह लेता है।

कार्य सिद्धांत

1. अल्ट्रासोनिक एटोमाइजेशन:

डिवाइस का मूल अल्ट्रासोनिक नोजल है, जिसमें एक ट्रांसड्यूसर होता है जो विद्युत ऊर्जा को उच्च-आवृत्ति यांत्रिक कंपन में परिवर्तित करता है।

2. तरल एटोमाइजेशन:

जैसे ही तरल (विलयन, सोल, या निलंबन) नोजल से होकर गुजरता है, कंपन करने वाला एटोमाइजर कंपन उत्पन्न करता है। जब कंपन आयाम तरल के सतह तनाव से अधिक हो जाता है, तो तरल माइक्रोन-आकार की बूंदों में टूट जाता है।

3. वाहक गैस डिलीवरी:

फिर एटोमाइज्ड बूंदों को एक पूर्वनिर्धारित मात्रा में वाहक गैस (जैसे हवा) द्वारा समान रूप से सब्सट्रेट सतह पर ले जाया जाता है।

4. पतली फिल्म जमाव:

बूंदों को सब्सट्रेट पर जमा किया जाता है, जिससे एक सतत पतली फिल्म कोटिंग बनती है।

सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों में लाभ

उच्च परिशुद्धता और एकरूपता:

अल्ट्रा-थिन और समान पतली फिल्म कोटिंग्स जमा करने की क्षमता सेमीकंडक्टर निर्माण में अनुप्रयोगों के लिए महत्वपूर्ण है, जैसे फोटोरेसिस्ट, प्रवाहकीय फिल्में और इन्सुलेटिंग फिल्में, जिनके लिए अत्यधिक उच्च परिशुद्धता की आवश्यकता होती है।

घटी हुई सामग्री हानि:

पारंपरिक स्प्रेइंग की तुलना में, अल्ट्रासोनिक स्प्रेइंग व्यावहारिक रूप से कोई बूंद उछाल या अतिरिक्त छींटे पैदा नहीं करता है, जिससे सामग्री का उपयोग कई गुना बढ़ जाता है, जिससे यह महंगी सामग्रियों की कोटिंग के लिए विशेष रूप से उपयुक्त हो जाता है।

सॉफ्ट स्प्रेइंग:

स्प्रेइंग प्रक्रिया कोमल होती है और सब्सट्रेट को नुकसान नहीं पहुंचाती है, जिससे यह नाजुक सेमीकंडक्टर सामग्री और इलेक्ट्रॉनिक घटकों के लिए उपयुक्त हो जाता है।

विविध नोजल:

विभिन्न चौड़ाई, लंबाई, आकार और प्रवाह दरों के नोजल को विशिष्ट अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए चुना जा सकता है, जिससे स्थानीयकृत या बड़े क्षेत्रों की समान कोटिंग सक्षम हो जाती है।